Elemen pemanasan silikon nitrida adalah jenis penting dari seramik struktur suhu tinggi. Ia mempunyai ciri-ciri pekali pengembangan termal rendah, kekerasan tinggi, modulus elastik tinggi, prestasi suhu termal, kestabilan kimia, dan sifat kelebihan yang baik. Selain itu, ia juga tahan terhadap pengoksidaan dan kakisan. Kelebihannya menjadikannya mempunyai prospek aplikasi. Nitrida silikon tulen tidak menyerap tenaga gelombang mikro pada suhu bilik. Ia hampir merupakan bahan telus gelombang mikro dan bergantung pada kehilangan dielektriknya sendiri untuk pemanasan. Cara mempromosikan sampel untuk memanaskan hingga suhu sintering secara seragam adalah kunci untuk pensinteran. Kehilangan dielektrik seramik nitrida silikon bukan sahaja sangat rendah tetapi juga tidak banyak berubah dengan suhu, dan kekonduksian termal tidak baik. Semasa pemanasan, keretakan dan arcing sampel atau terlalu panas tempatan tidak mungkin berlaku.
Gunakan serbuk α-Si3N4 dengan ketulenan tinggi sebagai bahan mentah, Al2O3, Y2O3 sebagai alat bantu sintering, tambah jumlah 1, gunakan alkohol sebagai medium selepas mencampurkan, penggiling bola dengan bola Al2O3 selama 24 jam, keringkan dan bersurai, pra-tekan serbuk dengan tekanan 30MPa dan kemudian gunakan 200MPa Press secara isostatik untuk membentuk sampel 24 × 12 (mm). Gunakan ketuhar gelombang mikro 2.45GHz, 6kW, kadar pemanasan 25 ℃ / min; sintering konvensional menggunakan sintering tanpa tekanan tanur grafit, sistem pembakaran sama dengan sintering gelombang mikro, dan semuanya dipecat dalam suasana nitrogen.
Oleh kerana kehilangan γ-Si3N4 dalam gelombang mikro sangat kecil pada suhu rendah, SiC diperlukan sebagai elemen pemanasan yang menyerap gelombang mikro pada suhu rendah. Apabila suhu sampel melebihi suhu kritikal 1390 ° C, ia akan menyerap gelombang mikro untuk menghasilkan haba. Hasil kajian menunjukkan bahawa gelombang mikro dapat mengubah fasa α menjadi f-β α-Si3N4 pada kelajuan dan ketumpatan. Membandingkan mikrograf elektron imbasan sampel sintering gelombang mikro dan sinter konvensional pada suhu 1750 ° C, di bawah formula dan sistem pensinteran yang sama, terdapat zarah memanjang yang lebih besar dalam matriks bahan sinter gelombang mikro, dan nisbah dan ukuran zarah zarah memanjang keduanya Di samping itu, sampel sinter konvensional tidak mempunyai sampel seperti β-Si3N4 seperti jarum walaupun ia disimpan pada suhu 1725 ° C semasa sintering gelombang mikro, sedangkan sintering konvensional pada 1800 ° C tidak dapat memperoleh sebilangan besar sampel β-Si3N4 seperti jarum.
